扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）是一种以电子束来替代传统光学镜头成像的高分辨率显微镜，是材料科学、物理学、生物学等领域中必不可少的研究工具。
SEM利用电子束对样品表面进行扫描，并探测由样品表面反射而来的一些信号（如电子、X射线、次级电子、反冲离子等），通过对这些信号的分析，最终形成高分辨率的样品表面图像。
SEM的原理可简单概括为：电子枪向样品表面发射电子束，样品表面发生电子与原子的作用，产生次级电子、X射线、反冲离子等信号，这些信号都具有一定的表征信息，并被探测器收集、放大、处理、还原为信号图像。
